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产品详情
简单介绍：
Alicat 的 M 系列数字式质量流量计可快速准确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度。
Alicat 的 M 系列质量流量计采用砖利的内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动，充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有
Alicat 质量流量计均具有 NIST 可溯源校准证书。
M 系列质量流量计内部无可移动组件和热元件，通过抗振动测试，对安装
方向不敏感。Alicat 提供全方位的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。
Alicat 的 M 系列质量流量计带有集成式多功能数字显示屏， 用户可通多显示屏按钮操作在内置 98种标准气体中进行任意切换，同时开放模拟通讯和 RS-232
数字通讯模式。我们为用户提供广泛的定制化服务以满足各类特殊的项目需要
详情介绍：
M
数字 质量流量计
www.alicat.com.cn
产品概述
Alicat 的 M 系列数字式质量流量计可快速**地测量过程气体的质量流量、
体积流量、压力和温度。
Alicat 的 M 系列质量流量计采用砖利的内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动，充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有
Alicat 质量流量计均具有 NIST 可溯源校准证书。
M 系列质量流量计内部无可移动组件和热元件，通过抗振动测试，对安装
方向不敏感。Alicat 提供全方位的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。
Alicat 的 M 系列质量流量计带有集成式多功能数字显示屏， 用户可通多显示屏按钮操作在内置 98种标准气体中进行任意切换，同时开放模拟通讯和 RS-232
数字通讯模式。我们为用户提供广泛的定制化服务以满足各类特殊的项目需要，如：用于危险环境的 ATEX(欧洲) 1 类 2 区和 CSA(美国)1 类 2 区认证产品等。 另有耐腐蚀系列(MS
系列)、低压损系列(MW 系列)和便携式系列(MB 系列)质量流量计可选。
产品应用
Alicat 的 M
系列数字式质量流量计广泛应用于各行业领域，如：科学研究、泄漏测试、环境监测、真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量等。多变量测量、多种气体标定以及 200:1
量程可调比使得仅用一台 Alicat 质量流量计便可取代多台设备发挥的功效。*高可达 0.4%的精度、0.2%重复性及不到 10 毫秒的测量响应速度*大程度优化了气体测量过程。
M 系列质量流量计可测量从 0-0.5 SCCM 到 0-4000SLPM 的满量程的任何流量。
M 系列质量流量计参数
0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 4000 slpm 满量程
标准参数
www.alicat.com.cn
产品性能 M 系列质量流量计
精度(调零后标准条件下) ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)
± (0.4%Rdg + 0.2%F.S)
高精度(选配)仅适用于量程为 5SCCM ~ 500SLPM 的设备
精度(双向流量型号) ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)
(调零后标准条件下) F.S:负满量程到正满量程重复性
± 0.2% F.S
零点漂移&满量程漂移 0.02% F.S / ºC / Atm
工作范围 / 量程可调比 0.5% ~ 100% F.S / 200:1
*大可测流量 128% F.S
典型响应时间 10 毫秒(可调整)
启动预热时间 < 1 秒
运行工况 M 系列质量流量计
标准工况 (STP) 25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换)
工作温度 −10 ~ +50 ºC
工作湿度范围 (非冷凝) 0 ～ 100%
内部*大工作压力(静压) 145 psig
设备允许通过的*大瞬时压差
(入口压力－出口压力) 75 psid
极限压力 175 psig
对安装方式/方向的要求 无
防护等级 IP40
材质 303 & 302 不锈钢, Viton®, 硅胶 RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝若有特殊材质需求，请联系艾里卡特
数字 质量流量计
www.alicat.com.cn
产品概述
Alicat 的 M 系列数字式质量流量计可快速**地测量过程气体的质量流量、
体积流量、压力和温度。
Alicat 的 M 系列质量流量计采用砖利的内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动，充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有
Alicat 质量流量计均具有 NIST 可溯源校准证书。
M 系列质量流量计内部无可移动组件和热元件，通过抗振动测试，对安装
方向不敏感。Alicat 提供全方位的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。
Alicat 的 M 系列质量流量计带有集成式多功能数字显示屏， 用户可通多显示屏按钮操作在内置 98种标准气体中进行任意切换，同时开放模拟通讯和 RS-232
数字通讯模式。我们为用户提供广泛的定制化服务以满足各类特殊的项目需要，如：用于危险环境的 ATEX(欧洲) 1 类 2 区和 CSA(美国)1 类 2 区认证产品等。 另有耐腐蚀系列(MS
系列)、低压损系列(MW 系列)和便携式系列(MB 系列)质量流量计可选。
产品应用
Alicat 的 M
系列数字式质量流量计广泛应用于各行业领域，如：科学研究、泄漏测试、环境监测、真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量等。多变量测量、多种气体标定以及 200:1
量程可调比使得仅用一台 Alicat 质量流量计便可取代多台设备发挥的功效。*高可达 0.4%的精度、0.2%重复性及不到 10 毫秒的测量响应速度*大程度优化了气体测量过程。
M 系列质量流量计可测量从 0-0.5 SCCM 到 0-4000SLPM 的满量程的任何流量。
M 系列质量流量计参数
0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 4000 slpm 满量程
标准参数
www.alicat.com.cn
产品性能 M 系列质量流量计
精度(调零后标准条件下) ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)
± (0.4%Rdg + 0.2%F.S)
高精度(选配)仅适用于量程为 5SCCM ~ 500SLPM 的设备
精度(双向流量型号) ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)
(调零后标准条件下) F.S:负满量程到正满量程重复性
± 0.2% F.S
零点漂移&满量程漂移 0.02% F.S / ºC / Atm
工作范围 / 量程可调比 0.5% ~ 100% F.S / 200:1
*大可测流量 128% F.S
典型响应时间 10 毫秒(可调整)
启动预热时间 < 1 秒
运行工况 M 系列质量流量计
标准工况 (STP) 25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换)
工作温度 −10 ~ +50 ºC
工作湿度范围 (非冷凝) 0 ～ 100%
内部*大工作压力(静压) 145 psig
设备允许通过的*大瞬时压差
(入口压力－出口压力) 75 psid
极限压力 175 psig
对安装方式/方向的要求 无
防护等级 IP40
材质 303 & 302 不锈钢, Viton®, 硅胶 RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝若有特殊材质需求，请联系艾里卡特