温度仪表网---提供完整的洁净室测量方案

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温度仪表网环境检测部致力于洁净室检测，为洁净室检测提供完整的解决方案，我们在电子生产企业的洁净室、医药生产企业洁净室、化妆品生产企业洁净室以及医院洁净室都有成功的应用经验。

温度：
在进行室温监控时，应选择电阻式温度计或者热敏电阻作为温度传感器。所要求的检测精度为0.5℃。在今天的生产现场或者DKD计量标定中，可以达到的计量检验精度为0.1～0.2℃。在德国，具有资质的DKD计量标定实验室共有30多家。温度测量仪器温度仪表网建议采用：testo 925温度仪/温度计/测温仪，TES1310数字温度计

相对湿度：
按照ISO 14644-3标准的要求，在进行相对湿度检测时应使用带有薄镀层电容器或者露点传感器的湿度传感器。对这类相对湿度传感器的检测精度要求为RH值的2%～3%。因此在计量标定时，要求检测的不可靠性大约为1%。在德国，有资质进行相对湿度计量标定的实验室为数不多，但对于要求进行相对湿度计量标定的客户来讲还是足够的。相对湿度测量仪器建议采用：TESTO 608-H1温湿度测量仪，Fluke 971温度湿度测量仪，TESTO 625温湿度测量仪

压力差：
为了测量监控各个洁净室之间的压力差异必须在较低的差压范围内进行测量（5～25Pa）。从20Pa开始，则必须使用更加**的压力天平进行计量标定。在低压范围内，许多情况下只能采用差补法对一致性进行估计。只有极少数的实验室可以进行低压压力差的计量标定工作。

Testo工业服务有限责任公司研发成功了一种新的低压压力差计量标定方法。它们采用了DKD认可的风洞设备。其原理是气流经过风洞后会产生一定的压力降，通过调节流经风洞的气流量，可以在保持气流量不变的情况下，在风洞出口处得到稳定的压力差。所产生的压力差在空气流量为3m/s时约为5Pa，测量误差为0.2Pa；这一精度完全满足对常用的压力传感器进行计量标定的要求。压力差测量仪器建议采用：testo 512压力仪

气流流速、风速的测量：
对于气流流速的测量也有很高的要求。按照ISO 14644-3标准的要求，应使用适合于在低压气流检测的热丝风速仪、超声风速仪和叶轮风速仪。经常进行的是对空气流速在0.45m/s范围内的风速仪的计量标定。计量标定的结果必须证明：风速仪的误差在±20%之内。这一要求很难达到，因为按照ISO 14644-3标准的要求，空气风速仪在这种情况下的技术规范要求为0.12m/s。在这种情况下只能进行对比计量标定，以求得更高的**系数。目前，在德国有三家DKD计量标定实验室的计量检测精度达到了0.1m/s。气流流速、风速的测量仪器建议采用：KANOMAX A531环境测试仪，testo 435风速计/风速测量仪

微粒含量、尘埃粒子：
微粒含量检测仪器的计量标定更加困难。微粒含量检测仪器允许的误差不得超过±20%。目前DKD计量标定实验室还不能进行这方面的标定工作。微粒计数器的计量标定只能在仪器生产厂家进行。联邦主管当局按照ISO 17025标准的要求，可以为您提供瑞士研发的微粒含量检测仪计量标定不可靠性的观察方法。微粒含量检测仪计量标定的不可靠性在微粒含量较低时的误差相对较大（大约±10%），因此很难证明已达到了标准规范±20%的要求。也就是说：目前在微粒含量检测仪的计量标定中，标定结果的可追溯性还存在着不足。微粒含量、尘埃粒子测量仪器建议采用：KANOMAX 3886激光粒子计数仪，KANOMAX 3887激光粒子计数器

小结：总体来讲，温度和相对湿度检测仪器的计量标定拥有足够的检验精度。在0～1m/s的低速空气流速范围内，由于空气风速仪的计量标定结果的不可靠性，能够进行这种检测仪器计量标定的单位数量太少。在压差为0～20Pa的压差检测仪的计量标定情况也类似于空气流速检测仪。而对于微粒含量检测仪的计量标定，目前还没有DKD授权的计量标定单位。